Unité de production de ReF6
Unité de production d’hexafluorure de rhénium (ReF6)
En 2017, Acerde lance sa propre unité de production de gaz hexafluorure de rhénium (ReF6), gaz critique pour la fabrication des anodes pour tubes à rayons X par CVD.
L’hexafluorure de rhénium (ReF6) est un gaz précurseurs utilisés lors du dépôt CVD. En effet, celui-ci est utilisé pour réaliser la couche d’accroche en rhénium pur, ainsi que le revêtement en alliage de tungstène-rhénium où il est présent à hauteur de 3 à 10%.
Ce gaz est un élément stratégique car onéreux et produit par un nombre très limité de fournisseurs dans le monde. C’est pourquoi Acerde a décidé de sécuriser son approvisionnement en intégrant sa propre unité de fabrication de ReF6 au sein de son site de Sainte-Hélène du Lac, en Savoie.
L’hexafluorure de rhénium
<u>Applications</u> : L’hexafluorure de rhénium est utilisé comme précurseur de dépôt de rhénium par voie chimique en phase vapeur (CVD). Le rhénium est généralement allié au tungstène pour former un alliage présentant une ductilité plus grande, ce qui améliore la résistance du revêtement à la fissuration.
Fabrication du ReF6
Le Ref6 est synthétisé par fluoration d’une poudre de rhénium. Les réactions chimiques mises en œuvre sont les suivantes :
- Etape 1 : Oxydation/Fluoration
- Etape 2 : Réduction/Défluoration
- Bilan :
Installation expérimentale :
Notre unité de production
L’installation a été développée, améliorée et sécurisée en interne. Elle permet de produire 2kg de ReF6 par mois.
Acerde dispose également d’un spectromètre infrarouge pour contrôler la qualité du gaz produit.
Les spécifications du gaz produit en termes de composition chimique sont les suivantes :
